芯片环境制样舱特点
内置数显制样系统,自带13寸显示器及自动变焦功能,放大倍率达100x,完全取代使用者肉眼观察模式,使得制样更高效。内置气体氛围控制器,可实现气体氛围及饱和水汽氛围等多种液体.气氛控制,精控制易挥发液体制样过程。还可选择无水氧制样舱,应用于空气及水敏感体系。
芯片环境制样舱技术参数:
1)整体尺寸l×w×h=1300×650×710,实验舱:l×w×h=760×600×700,过渡舱:l×d=330×φ280(单位:mm),以实物尺寸为准。
2)可实现气体氛围及饱和水汽氛围等多种液体气氛控制。
3)数码放大倍数]100倍;显示器13寸,分辨率1920×1080;相机帧率大于等于30帧/秒。
4)真空泵真空度50mbar。
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