高真空存杆仪,该设备zui低真空为10-5mbar,为原位样品台提供高真空存放环境,避免样品台受到污染,更可清洁样品台,尤其适用于原位样品台。方便研究人员对不同样品台的切换,触屏控制zui多可实现6路样品台单独存取。系统可实现真空度检测及真空度智能维持及漏气报警功能。
标准配置清单:
序号分项内容
数量
1
可视化高真空存杆腔体(适配)
4套
2
真空数据设定、读取及触控操作(hmi)
1套
3
存杆仪支架及柜体
1台
4
高真空发生系统
1套
5
包装、运输及保险
技术参数:
1)压力范围:0-1000mbar。
2)存杆数量:四路
2)适用电镜样品台:fei、jeol、hitachi(适配)。
3)适用原位反应舱芯片:自组装键合一体式芯片,加热芯片,纳流体芯片等。
4)极限真空小于等于1×10-6mbar。
5)接口模块含控制阀门,以在电源关闭时保持真空状态,或在取杆时,实现存杆模块气体通入,加速样品台取出过程。
6)各路存杆相互独立,存或取杆时互不影响,支持随存随取。
更多访问:
http://www.chip-nova.com.cn/sonlist-2045771.html
https://www.chem17.com/st384871/erlist_2045771.html